ASML最新的NEX:3400C光刻机
首先我们了解一下什么是EUV光刻机
在《超能课堂(66):沙子做的CPU,凭什么卖那么贵?》这批文章中我们已经介绍过芯片是怎么造出来的了,紫外线曝光是其中一步,而这个步骤就是由光刻机所执行的,它是芯片生产的核心,也是这个步骤决定了芯片的制程工艺。
而光刻的工作原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后通过刻蚀技术把电路“画”在晶圆上。
当时实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台,上面放的就设计公司做好的光掩膜,之后经过物镜投射到曝光台,这里放的就是8寸或者12英寸晶圆,上面涂抹了光刻胶,具有光敏感性,紫外光就会在晶圆上蚀刻出电路。
而激光器负责光源产生,而光源对制程工艺是决定性影响的,随着半导体工业节点的不断提升,光刻机缩激光波长也在不断的缩小,从436nm、365nm的近紫外(NUV)激光进入到246nm、193nm的深紫外(DUV)激光,现在DUV光刻机是目前大量应用的光刻机,波长是193nm,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限,所以Intel、三星和台积电都会在7nm这个节点引入极紫外光(EUV)光刻技术,而GlobalFoundries当年也曾经研究过7nm EUV工艺,只不过现在已经放弃了。
而使用极紫外光(EUV)作为光源的光刻机就是EUV光刻机,当然这绝对不是单纯只换个光源这么简单。
为什么需要EUV光刻?
现在所用的193nm光源DUV其实是2000年代就开始使用的了,然而在更短波长光源技术上卡住了,157nm波长的光刻技术其实在2003年就有光刻机了,然而对比193nm波长的进步只有25%,但由于157nm的光波会比193nm所用的镜片吸收,镜片和光刻胶都要重新研制,再加上当时成本更低的浸入式193nm技术已经出来了,所以193nm DUV光刻一直用到现在。
当然大家一定想知道为啥同一光源为什么可以衍生出这么多不同工艺节点,以Intel为例,2000年用的是180nm,而现在已经是10nm了,其实光刻机决定了半导体工艺的制程工艺,光刻机的精度跟光源的波长、物镜的数值孔径是有关系的,有公式可以计算:
光刻机分辨率=k1*λ/NA
k1是常数,不同的光刻机k1不同,λ指的是光源波长,NA是物镜的数值孔径,所以光刻机的分辨率就取决于光源波长及物镜的数值孔径,波长越短越好,NA越大越好,这样光刻机分辨率就越高,制程工艺越先进。
最初的浸入式光刻就是很简单的在晶圆光刻胶上加1mm厚的水,水可以把193nm的光波长折射成134nm,后来不断改进高NA镜片、多光照、FinFET、Pitch-split以及波段铃木的光刻胶等技术,一只用到现在的7nm/10nm,但这已经是193nm光刻机的极限了。
在现有技术条件上,NA数值孔径并不容易提升,目前使用的镜片NA值是0.33,大家可能还记得之前有过一个新闻,就是ASML投入20亿美元入股卡尔·蔡司公司,双方将合作研发新的EUV光刻机,许多人不知道EUV光刻机跟蔡司有什么关系,现在应该明白了,ASML跟蔡司合作就是研发NA 0.5的光学镜片,这是EUV光刻机未来进一步提升分辨率的关键,不过高NA的EUV光刻机至少是2025-2030年的事了,还早着呢,光学镜片的进步比电子产品难多了。
NA数值一时间不能提升,所以光刻机就选择了改变光源,用13.5nm波长的EUV取代193nm的DUV光源,这样也能大幅提升光刻机的分辨率。
在上世纪90年代后半期,大家都在寻找取代193nm光刻光源的技术,提出了包括157nm光源、电子束投射、离子投射、X射线和EUV,而从现在的结果来看只有EUV是成功了。当初由Intel和美国能源部牵头,集合了摩托罗拉、AMD等公司还有美国的三大国家实验室组成EUV LLC,ASML也被邀请进入成为EUV LLC的一份子。在1997到2003年间,EUV LLC的几百位科学家发表了大量论文,证明了EUV光刻机的可行性,然后EUV LLC解散。
2006年全球首台EUV光刻机原型
接下来ASML在2006年推出了EUV光刻机的原型,2007年建造了10000平方米的无尘工作室,在2010年造出了第一台研发用样机NXE3100,到了2015年终于造出了可量产的样机,而在这研发过程中,Intel、三星、台积电这些半导体大厂的输血是绝对不少的。
作为全球唯一一家能EUV光刻机的厂家,ASML自然获得了大量的订单,截止至2019年第二季度,ASML的NEX:3400B EUV光刻机的装机数已经多达38台,而下半年他们推出了效率更高的NEX:3400C光刻机,而在2019年全年一共交付了26套EUV光刻机,为他们带来了27.89亿欧元的收入,占了全年收入的31%,而全年卖了82台的ArFi远紫外光光刻机才进账47.67亿欧元,可见一套EUV光刻机是多么的赚钱。
新的NEX:3400C产能从原来的125每小时晶圆提升到170每小时晶圆,销量大幅提升(图片来源:wikichip)
尽管EUV光刻机相当之贵,接近1.2亿美元一台,但半导体厂商还是愿意去投入,因为7nm以及以上的工艺的确需要EUV光刻机,几时同样的7nm工艺,使用EUV光刻技术之后晶体管密度和性能都变得更好,根据台积电给出的数据,相较于初代7nm工艺,7nm EUV(N7+)可以提供1.2倍的密度提升,同等功耗水平下提供10%的性能增幅,或者同性能节省15%的功耗。
现在三星和台积电都已经使用7nm EUV工艺开始生产芯片了,预定今年发布的AMD Zen 3架构第四代锐龙处理器用的就是台积电7nm EUV工艺,Intel现在的10nm工艺还没用上EUV技术,不过预定在7nm工艺时期用上EUV光刻,国内的中芯国际也从ASML订购了一台EUV光刻机,但因为种种问题,现在交货时间还未明确。
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我是东林夕亭,你有故事,就来找我。点击上面“关注”,你就是我的人了。 对于还没结婚的女人来说,你很有必要从那些失败的婚姻案例中吸取教训,在选择婚姻时要慎重一点,不要急,在做好自己的…
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论持久战理论的内涵及其重要意义
1938 年 5 月,毛泽东在延安发表《论持久战》,自此,这篇抗日战争时期的雄文,犹如它的名字一样,发挥着持久而坚定的作用。早在 1936 年 7 月,坚持持久抗战的初步方针就已被…
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大学生入党难度越来越大,入党到底有什么好处?这3点必须知道
现如今想要在大学期间申请入党,尤其还要在大学期间转正,越来越难了,入党的程序越来越严格和规范,入党的竞争也越来越大,作为刚大学毕业的我来说就有切身的体会,也包括周边同学的看法,用我…
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李雪琴是谁?李雪琴吴亦凡什么梗?李雪琴火了,而且还是北大的
不知道大家最近有没有听说过一个名字,叫:李雪琴。如果没听过的话,我给大家说说,事情是这样的,李雪琴怎么火的呢?是因为吴亦凡拍的一个视频。 在视频中,吴亦凡说:李雪琴,你好,别管我在…
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20条最暖心的表白情话,句句打动人心!
1.尽管没有深情的告白,也没有诚挚的诺言,但在顺其自然中我们就成为了彼此的唯一。余生漫漫,我愿与你风雨中执手,平淡中偕老。 2.我闻见你的味道,像是掺了薄荷的酒,明明该清醒,却只是…
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重温经典散文丨张晓风:敬畏生命
植物借风传递种子来延续生命本是寻常,但作家张晓风却因这般寻常,心里起了波澜。今天,我们一起来领会一下作家对生命的敬畏。 敬畏生命 张晓风 那是一个夏天的长得不能再长的下午,在印第安…
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想入党的朋友看过来:入党流程详解
很多想入党或者已经正在积极向党组织靠拢的小伙伴们,心里并不是很了解入党的流程,也不知道自己究竟到哪一个阶段呢?这里,笔者就为大家简单的解读一下入党的程序,让想入党或者已经正在向党组…
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合肥防潮铝箔袋材料简介
合肥防潮铝箔袋材料简介 为了防止空气中的水蒸气损坏产品,我们经常使用合肥防潮铝箔袋。合肥防潮铝箔袋的形式不言而喻,合肥防潮铝箔袋应采用密封包装。根据产品的性质和实际流通条件,可以适…
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丝杆升降机限位怎么装,蜗轮丝杆升降机接近开关怎么用
蜗轮丝杆升降机使用中如不能及时停止运行,很有可能走过或走满行程,导致丝杆从箱体内脱落或者螺母脱落,造成不必要的故障,这种情况可以选择用伺服电机控制或对丝杆升降机加装限位装置,对升降…
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4部超好看现代重生类小说推荐,男主宠妻狂魔,全文超甜超宠溺!
相信进来的都是喜欢言情小说的朋友吧,在言情小说里不得不说的就是重生文了,这类小说有着自己独到的韵味,往往受到很多读者的喜欢。今天小编就来推荐四部超好看的现代重生文,希望大家喜欢。 …
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上海人均GDP全球什么水平?魔都四项之最,三数据已全球第一
魔都 每一天都有新变化 上海2019年经济总量超3万亿人民币,作为超一线城市,中国在全球的一张名片,江湖戏称魔都。魔都之魔幻需要你亲身体验。清晨的徐汇滨江,静谧清雅;夜晚的陆家嘴外…
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还在偷偷看成人网站?出现这几个现象赶紧停止,不然后果不堪设想
互联网的出现以及智能手机的普及,使我们的生活得到了很大的便利,目前我们生活的任何角落,仿佛都已经离不开互联网的存在,大到衣食住行小到街边吃饭的付款,都和互联网息息相关。互联网一方面…
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美国正式确定退出世卫,联合国:属实!
作者:影觅 编辑:枯木 据报道,当地时间7月7日下午,美国多名官员证实,国会已经收到特朗普政府关于美国正式退出世界卫生组织的通知。联合国秘书长发言人迪雅里克称,美国于6日已通知联合…
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《金刚川》背后的真实历史:5万多敌军被歼,志愿军奇袭白虎团
热映电影《金刚川》说的是抗美援朝战争末期,中国人民志愿军为了早日赶到金城战役前线,在物资极为匮乏,武器装备落后的情况下,一次又一次抢修架设在朝鲜金刚川上的一座桥,以血肉之躯保证大部…
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8张地图,看懂西汉由弱变强,又从盛转衰的两百一十年历史
历史上,西汉一共存在210年,从公元前202年一直到公元8年,是中国继秦朝之后,又一个大一统王朝。 西汉共经历12位皇帝,和东汉一起被统称为汉朝。在当时,西汉是世界上首屈一指的超级…
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旧爱李沁杨洋复活了?
晚,李沁30岁生日当天,有网友很快发现李沁工作室悄悄删除了单身汉遗书,这让人觉得李沁之前在一个文件节目中说过要删除自己的单条和顶级指令,现在,他们已经退出,他们已经暴露了类似的照片…
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《大秦赋》评分降至8.6!嬴傒赵姬这段戏是硬伤!
电视剧《大秦赋》开播至今,在道化服方面颇受好评。大部分的演员演技也都依然在线。 电视剧《大秦赋》剧照 剧情内容也尽量还原历史,这才有了这部剧的高口碑。 然而《大秦赋》华阳夫人夺权失…
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埋母案:纵使他有千般委屈万般无奈,弑母怎么都谈不上情有可原
近日,伴随着陕西靖边“埋母”案越来越多案件之外的隐情细节的纰漏,社会舆论似乎在原来“矛头一致”的轨道上来了个180度的大转弯,逐渐在走偏的方向上越走越远…… 据澎湃新闻报道,犯罪嫌…
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鸡肉怎么炒才好吃?只需3个技巧,鸡肉入味还不腥
今天大年初二,我感觉我已经胖了一圈。的确,每到过年,餐桌上都少不了大鱼大肉,吃完这一顿,紧接着就是下一顿,几天下来,想不胖都难。而对于我们这些喜欢吃肉,又不想长胖的人来说,其实鸡肉…
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中小学传统文化教育有了首个国内指导标准
随着传统文化的复兴,传统文化教育呈现出方兴未艾之势。然而,也有人指出,当前的传统文化教育仍存在内容碎片化、庸俗化,教学方式仪式化、表演性质浓厚以及专业化教师和评价机制缺乏等问题。如…
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香煎马鲛鱼的简单做法,美味又营养,适合老人和小孩吃没有小刺
Hello,今天给大家分享的美味海鲜是马鲛鱼,香煎马鲛鱼片,相当好吃,不信你自己动手做一次吃看看哈。废话不多说,非常简单又好吃的做法奉上。 一、准备食材: 野生马鲛鱼块(中段最佳)…
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水煮鱼片:一看就会的家常做法,香辣开胃,太好吃了
炎炎夏日,来点酸辣口味的水煮鱼,是不是比较开胃呢! 收藏本菜谱 水煮鱼片 图文 |宸·羽 鱼腩肉400g白菜150g豆干120g姜丝适量蒜片适量葱花适量泡椒3个豆瓣酱1勺陈醋1勺糖…
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《先祖:人类奥德赛》图文攻略 生存上手指南进化发展详解
《先祖:人类奥德赛》图文攻略,生存上手指南进化发展详解(含“上手指南”“系统详解”“玩法技巧”)。《先祖:人类奥德赛》是一款第三人称的开放世界生存游戏。在这款出自《刺客信条》前任创…
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热血高校3,争霸人物“战斗力”排名!铃兰再起风云
<热血高校3>是由丰田利晃导演,于2014年上映的一部续集电影。热血系列第一,第二集分别于2007年,2009年上映,均取得良好票房和口碑。时隔5年拍摄的这部续集电影虽…
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洗衣机怎么清洗 全自动洗衣机使用方法及保养
在智能的今天,自动洗衣机以其方便易用而深受消费者的喜爱。如果您购买一种质量优良的全自动洗衣机产品,您需要做好日常使用和维护工作,减少自动洗衣机故障的发生,以延长其使用寿命。那么,如…
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《插翅难逃》豪哥豪嫂18年后重现经典,昔日荧幕情侣都曾为爱牺牲
9月20日,有网友在短视频平台上传了一条视频,《插翅难逃》的男主角“张世豪”的扮演者和女主角“郭金凤”的扮演者,在电视剧播出20年后,再次同框重现经典 据悉“张世豪”的扮演者赵燕国…